Wiederaufbereitung

Trikon ESC

SPM überarbeitet Ihren elektrostatischen Chuck (ESC). Dafür werden folgende Schritte durchgeführt:

  • Eingangskontrolle und Kennzeichnung
  • Aufbereitung des Metallsockels
  • Neues ESC Keramik-Sandwich
  • Endkontrolle

 

 

P/C Chucks & Suszeptoren

P/C Chuck

SPM überarbeitet Ihre P/C Chucks und Suszeptoren.

 

Die Bearbeitungsschritte:

  • Eingangskontrolle und Kennzeichnung
  • Aufbreitung oder Ersetzen von:
    • Thermoelementen
    • Keramischen Komponenten
    • Metallteilen
  • Endkontrolle

 

Reflektoren

Gereinigter Reflektor

Bringt Ihr Reflektor nicht mehr die gewünschte Leistung? Dann schicken Sie ihn zu SPM!

 

SPM reinigt die verbrauchte Oberfläche und bringt eine neue Beschichtung auf. So sparen Sie bis zu 60 % Ihrer Kosten gegenüber dem Kauf eines neuen Reflektors.

 

 

 

 

Typische Reflektoren, die SPM aufbereitet sind unter anderem:

  • Fusion Reflektoren für UV Aushärtungen und Bake Schritte
  • Spiegel für Stepper Lampen

 

 

Dome Refurbishment

SPMs Dome Refurbishment beinhaltet 4 Schritte:

  1. Tracking: Jeder Dome erhält eine Trackingnummer durch die der Bearbeitungsstand des Domes jederzeit abgerufen werden kann.
  2. Schutz: Empfindliche Teile (z.B. Spulenanschlüsse, Dichtflächen) werden vor dem eigentlichen Wiederaufbereiten abgedeckt.
  3. Wiederaufbereitung: Die Oberflächen des Domes werden entsprechend Ihrer Spezifikation gereinigt.
  4. Qualitätskontrolle: Vor der Auslieferung durchläuft jeder Dome ein Prüfprogramm und wird nur freigegeben wenn die Prüfwerte innerhalb der Spezifikation liegen.

 

 

Oberflächenreinigung durch Sandstrahlen

Sandstrahlen

Sie können verschiedene Oberflächen mittels Sandstrahlen bei SPM reinigen lassen.

Es werden unterschiedliche Kornmaterialien (z.B. Al2O3, SiC oder Glaskugeln) in verschiedenen Grössen eingesetzt.

Messen / Trade Shows

May 2012 
15.-17.

 E-MRS

Strasbourg, France
22.-25.

OPTATEC

Frankfurt, Germany
June 2012 
19.-21.

 Lope-C

Munich, Germany

September 2012 

11.-12.

PSE 2012 

Garmisch-Partenkirchen, Germany
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