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Optische Teile für Stepper
Optische Komponten für Nikon, Canon und ASML Stepper.
Alle optischen Teile, die Sie bei SPM finden, ermöglichen es Ihnen Kosten zu sparen. Sie kaufen Ihre benötigten Teile nicht nur zu einem guten Preis, Sie werden sie auch länger in Ihrem Prozess verwenden können. Ein spezieller Herstellungsprozess verlängert die Lebensdauer der optischen Komponenten und senkt somit Ihren Bedarf an Ersatz.
Nikon
SPM bietet unter anderem folgende optische Komponenten für Nikon Stepper:
- I-Line Reflection Mirror
- Collector Lens Unit
- Cover Glass
- Main Interference Filter
Eine genaue Auflistung finden Sie hier:
Canon
Sie finden bei SPM folgende optische Teile für Canon Stepper:
- Cover Glasses
- I-Line Filter
- Uniformity Filter
- Wedge Glasses
Eine genaue Auflistung finden Sie hier:
FRA
Zusätzlich finden Sie bei SPM das Fine Reticle Alignment (FRA) für diverse Canon Stepper.
Das FRA ersetzt verschiedene optische Teile der AA/FRA Einheit wie beispielsweise Linsen, Spiegel oder Filter. Es nutzt eine kurwellen I-Line Laserdiode (365 nm) mit langer Lebensdauer für das zuverlässige Ausrichten des Reticles. Sie sparen damit Zeit und Geld!
ASML & weitere
SPM offeriert folgende optische Komponenten für ASML und weitere Stepper:
- Beam Steering Mirror
- Output Coupler
- Covex Lenses
- ...
Eine genaue Auflistung finden Sie hier:
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