Metallteile & spezielle Beschichtungen

Bei SPM finden Sie qualitativ hochwertige Metallkomponenten wie Ringe, Abschirmungen und Platten für unterschiedliche Anwendungen in CVD, PVD und Ätz-Anlagen.

Zusätzlich beinhaltet das Angebot verschiedene Oberflächenbeschichtungen, z.B.:

• Anodisierung (farblos, hart) 
• Y2O3
• Zr2O3/Y2O3
• Al2O3
• Al2O3/TiO2.

Diese Beschichtungen ermöglichen eine längere Lebensdauer der Teile. Je nach Anwendung, z.B. passive Abschirmungen oder Chuckplatten unter RF, bietet SPM Ihnen das optimale Beschichtungsmaterial.

Kennen Sie es auch, dass sich die Mutter in Ihrem BSR System für LAM Alliance 9600PTX löst? Dies ist Ihnen auch schon im Upgraded BSR System für LAM Alliance 9600DFMp passiert?

SPM hat die Lösung dieser und weiterer Problemen, die beim BSR System für LAM Alliance 9600PTX oder beim Upgraded BSR System für LAM Alliance 9600DFMp auftreten:

• Keine Kratzer, da der Ring den Wafer nicht berührt
• Uptime Verbesserung: keine Ausfallzeiten mehr für vorgezogene Nassreinigungen
• Kein Kapitalinvestment notwendig: Ersatzteile sind erhältlich
• Keine Qualifizierungsmassnahmen nötig
• Fehlerreduktion: 100 %