Heater

Die Heater werden von CRC Inc hergestellt und sind hauptsächlich für CVD und Ätz-Prozesse ausgerichtet.

Sie sind aus Keramik oder Aluminimum gefertigt und für Substratgrössen von 150 - 300 mm geeignet. Der Temperaturbereich der verschiedenen Heater beginnt bei 200°C und reicht bis 850°C, je nach Aufbau und Konfiguration.

Hier eine Auflistung der Heater bei SPM:

• 300 mm: Keramik und Aluminium Heater
• 200 mm: Keramik und Aluminium Heater 
• 150 mm: Keramik und Aluminium Heater